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519 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2265
518 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 17692
517 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1076
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513 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 810
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511 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 19787
510 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 848
509 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3659
508 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1040
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506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 3014
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504 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1627
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1985
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11496
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2366
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