번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48631
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50134
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 55155
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 1943
283 저온 플라즈마에 관해서 [1] 5315
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1151
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3099
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 4805
279 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 6446
278 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3904
277 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 6257
276 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8098
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 6977
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 7943
273 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6016
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 5918
271 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 8502
270 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6239
269 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 9345
268 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6160
267 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6018
266 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 7550
265 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 7881

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