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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20046
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91556
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11013
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2228
500 공정플라즈마 [1] 1123
499 임피던스 매칭회로 [1] file 2777
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 540
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1659
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1458
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3294
494 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1143
493 질문있습니다. [1] 2535
492 chamber impedance [1] 2001
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3171
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2080
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5003
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1358
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 722
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6237
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1603
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1155
483 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3117

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