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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76966
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556 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9947
555 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher] [1] 9889
554 대기압 플라즈마에 대해서 9881
553 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9798
552 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 9795
551 안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘] [1] 9706
550 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9630
549 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 9625
548 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9394
547 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 9281
546 수중 플라즈마에 대해 [수중 플라즈마의 화학 반응 현상] [1] 9235
545 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 9155
544 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 9061
543 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.[CCP와 Vdc, Vpp] [1] file 9033
542 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8898
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540 핵융합에 대하여 [상온 핵융합 관련 연구 동향] 8735
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538 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [표면 화학 반응] [2] 8564
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