Water Discharge Plasma 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다!
2013.01.04 13:41
안녕하세요. 저는 KIST에서 Plasma Actuator를 연구하고 있는 학생입니다.
절연유와 같이 전기가 통하지 않는 액체에서 Dielectric Barrier Discharge 방식을 통하여 Plasma를 발생시킬 수 있는 지에 대해
궁금증이 생겨서 이렇게 글을 남기게 되었습니다.
1. 혹시 생성이 가능하다면 일반 공기 중에서 발생되는 Plasma와 세기나 기타 여러 특성에서 어떠한 차이가 있는지
2. 그리고 절연유가 아닌 일반 전기가 통하는 액체(물과 같은)에서 발생되는 Plasma는 공기에서 발생되는 Plasma와 어떤 차이가 있는지
알려주실 수 있으신가요?
제 전공이 기계공학이라 Plasma를 이해하기에 너무나도 어려움이 많습니다 ㅠㅠ 도와주세요!!
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [270] | 76745 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20215 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68706 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92304 |
| 509 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1388 |
| 508 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1390 |
| 507 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1395 |
| 506 |
dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!!
[1]  | 1402 |
| 505 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1408 |
| 504 |
poly식각을 위한 조언 부탁드립니다.
| 1410 |
| 503 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1420 |
| 502 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1424 |
| 501 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1427 |
| 500 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1429 |
| 499 | Ar plasma power/time [1] | 1437 |
| 498 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1438 |
| 497 | PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] | 1442 |
| 496 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1445 |
| 495 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1446 |
| 494 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1454 |
| 493 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1454 |
| 492 | 알고싶습니다 [1] | 1459 |
| 491 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1459 |
| 490 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1460 |
발생시키는 방식은,
1. 기체 주입 후 주입된 기체 내부에서 방전
2. 고전압 펄스를 통해 플라즈마 형성
3. 고주파 전류 인가를 통한 전극 가열을 통해 기포막 형성 후 방전
으로 나뉘게 됩니다.
절연유와 같이 전기전도도가 낮은 액체의 경우에는 1번의 혹은 2번의 방법을 통해서 가능할 것으로 예상됩니다. 이 때 발생되는 플라즈마는 절연유 혹은 주변 액체가 기화되어 형성된 기체 내에서 방전이 되므로
대기에서 불활성기체 혹은 대기에서 방전되는 플라즈마와는 방전 기체 및 형성물에서 차이를 띄게 됩니다.
식염수와 같은 전해질에서 이뤄지는 방전은 저희 연구실에서 발생기전에 관해서 보고된 논문이 있으니 참고하시기 바랍니다.
1. Hydroxyl Radical Generation on Bubble Surface of Aqua-plasma Discharge
2. Characteristics of vapor coverage formation on an RF-driven metal electrode to discharge a plasma in saline solution
3. Driving frequency dependency of gas species in the bubble formation for aqua-plasma generation (in Press)