Others 활성이온 측정 방법

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:574

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76858
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20263
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57196
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68747
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92612
517 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1069
516 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3709
515 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 590
514 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10407
513 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 802
512 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 770
511 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 19783
510 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 845
509 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3658
508 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1039
507 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1246
506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 3000
505 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 546
504 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1621
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1976
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11433
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2352
500 공정플라즈마 [1] 1156
499 임피던스 매칭회로 [1] file 2820
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 553

Boards


XE Login