Others 활성이온 측정 방법

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:389

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2549
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 13481
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49688
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61618
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80197
380 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3670
379 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 792
378 고진공 만드는방법. [1] 743
377 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 316
376 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 461
375 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 663
374 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 357
373 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 532
372 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 3637
371 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2375
370 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2490
» 활성이온 측정 방법 [1] 389
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1055
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1486
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1287
365 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1845
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1310
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1461
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 574
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 721

Boards


XE Login