Others 활성이온 측정 방법
2017.11.07 15:04
안녕하세요
배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.
플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.
오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요
오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더 강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.
그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.
활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?
그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요
플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?
현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.
교수님의 고견 부탁 드립니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
509 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9520 |
508 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9508 |
507 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
506 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9230 |
505 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9029 |
504 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8980 |
503 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8919 |
502 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
501 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8721 |
500 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8648 |
499 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8618 |
498 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8596 |
497 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8579 |
496 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8573 |
495 | 핵융합에 대하여 | 8564 |
494 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8140 |
493 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
492 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
491 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
490 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8034 |
관련 연구는 기계 연구소의 송영훈박사 팀에서 아주 오랫동안, 매우 열심히 연구를 하고 있는 분야입니다. 따라서 기계 연구소 송영훈 박사 팀을 소개합니다. https://www.kimm.re.kr/eco04 (한국기계연구원/환경시스템연구본부/플라즈마연구실)에 방문을 추천합니다.