Others 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상
2018.08.29 17:36
안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.
최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.
충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.
수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다
또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.
위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??
홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
509 | ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] | 3646 |
508 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1030 |
507 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1226 |
506 | Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] | 2974 |
505 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 542 |
504 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1601 |
503 | 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] | 1937 |
502 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11329 |
501 | Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] | 2316 |
500 | 공정플라즈마 [1] | 1145 |
499 | 임피던스 매칭회로 [1] | 2804 |
498 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 550 |
497 | CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] | 1689 |
496 | glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] | 1507 |
495 | plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] | 3383 |
494 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1157 |
493 | 질문있습니다. [1] | 2572 |
492 | chamber impedance [1] | 2009 |
491 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 3278 |
490 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2128 |
전류가 떨어지는 이유는 전극에 하전입자가 덜 주입되고 있기 때문일 것 입니다. 따라서 전극이 부도체화 되거나 먼지(파티클들이 쌓이면) 전극 전류가 순간 떨어지지 않을까요? 일시적으로 전극 코팅이 심하게 되면 전류가 떨어지며 전극이 방전 전극을 겸하고 있으므로 방전 특성도 좋지 않게 되겠습니다. 코팅된 전극이 복원된다면, 즉 코팅이 떨어져 나가게 된다면 방전은 다시 복귀하게 될 것입니다. 따라고 현재 집진기 구조에서 전극 상으로 코팅되는 현상을 제어하기 위한 전극 설계 혹은 방전기 운전 (펄스 주기 등)모드의 개발이 필요할 것 같습니다.