안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.

하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..

그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,

그에 대한 화학반응식이 무엇인지  공부 하고 싶은데

혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.


만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [253] 76394
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19975
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57060
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68531
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91241
493 질문있습니다. [1] 2510
492 chamber impedance [1] 1989
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3113
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2070
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 4993
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1348
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 709
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6218
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1574
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1141
483 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3066
482 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2819
481 교수님 질문이 있습니다. [1] 719
480 wafer bias [1] 1098
479 Group Delay 문의드립니다. [1] 1128
478 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 496
477 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 1900
476 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1024
475 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1881
474 PEALD관련 질문 [1] 32583

Boards


XE Login