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383 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 1897
382 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1912
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380 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 1937
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374 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2007
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372 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2022
371 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2033
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