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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69063
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536 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1289
535 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1299
534 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1301
533 플라즈마 기초입니다 [1] 1306
532 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1308
531 플라즈마 챔버 [2] 1311
530 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1321
529 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1321
528 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1336
527 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1342
526 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1352
525 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1359
524 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1359
523 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1359
522 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1397
521 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1397
520 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1401
519 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1402
518 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 1402
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