kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76828 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20251 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
» | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68741 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92581 |
515 | 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] | 1361 |
514 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1365 |
513 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1379 |
512 | Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] | 1383 |
511 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1389 |
510 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1392 |
509 | 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] | 1395 |
508 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1401 |
507 | dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] | 1404 |
506 | Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] | 1406 |
505 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1412 |
504 | poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. | 1418 |
503 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1428 |
502 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 1432 |
501 | MATCHER 발열 문제 [3] | 1433 |
500 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1434 |
499 | Ar plasma power/time [1] | 1439 |
498 | PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] | 1445 |
497 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1451 |
496 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1454 |