ATM Plasma 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [DBD와 플라즈마 방전 메커니즘]

2012.08.01 13:40

케빈 조회 수:8380

안녕하세요

상압 플라즈마와 관련하여 몇가지 문의 드릴려고 합니다.

1. 헬륨 가스를 이용하여 상압 플라즈마를 발생 시켰을때, 헬륨 이온이 생성 될때 발생하는

    전자로 인하여 공기중의 다른 원소들이 이온화 된다고 알고 있습니다. 그럼 이온화된

    헬륨은 인체 또는 공기에 어떤 영향을 끼치는지 문의 드립니다.

 

2. 텅스텐을 세라믹으로 감싼 전극과 아노다이징 된 알루미늄 사이(0.5mm)에 물 미립자를 통과 시켜서

    -OH 라디칼 이온을 만들려고 했는데, 오존이 종종 발생 됩니다. 전극에서 전달된 에너지가

    -OH 라디칼 이온과 오존 중 어떤 걸 먼저 만들어 내는지 알 수 있을까 해서요..

 

우선은 두가지 문의 드립니다.

제 이메일 주소는 vngkgk11@gmail.com 입니다.

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102616
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24654
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61354
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73436
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105739
553 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1538
552 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [베르누이 정리] [1] 1549
551 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계] [1] 1553
550 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics] [1] 1555
549 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1561
548 etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution] [1] 1568
547 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석] [1] 1572
546 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1582
545 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1589
544 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1599
543 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1602
542 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1614
541 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory] [1] 1617
540 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 1618
539 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1619
538 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응] [1] file 1621
537 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 1623
536 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1624
535 전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과] [1] file 1631
534 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [O2 plasma, ion sputtering] [1] 1639
쓰기
태그

Boards

XE Login