번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48660
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 56135
289 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6241
288 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6164
287 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6035
286 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6023
285 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 6010
284 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 5925
283 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 5836
282 저온 플라즈마에 관해서 [1] 5354
281 DC bias (Self bias) [3] 5330
280 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 5326
279 자료 요청드립니다. [1] 5262
278 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 4896
277 RF calibration에 대해 질문드립니다. 4816
276 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 4358
275 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 4208
274 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 4175
273 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3905
272 DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] 3891
271 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 3881
270 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 3526

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