안녕하세요

상압 플라즈마와 관련하여 몇가지 문의 드릴려고 합니다.

1. 헬륨 가스를 이용하여 상압 플라즈마를 발생 시켰을때, 헬륨 이온이 생성 될때 발생하는

    전자로 인하여 공기중의 다른 원소들이 이온화 된다고 알고 있습니다. 그럼 이온화된

    헬륨은 인체 또는 공기에 어떤 영향을 끼치는지 문의 드립니다.

 

2. 텅스텐을 세라믹으로 감싼 전극과 아노다이징 된 알루미늄 사이(0.5mm)에 물 미립자를 통과 시켜서

    -OH 라디칼 이온을 만들려고 했는데, 오존이 종종 발생 됩니다. 전극에서 전달된 에너지가

    -OH 라디칼 이온과 오존 중 어떤 걸 먼저 만들어 내는지 알 수 있을까 해서요..

 

우선은 두가지 문의 드립니다.

제 이메일 주소는 vngkgk11@gmail.com 입니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [112] 4887
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16225
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63745
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83512
398 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8449
397 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8436
396 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8396
395 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 8375
394 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8324
393 수중플라즈마에 대해 [1] 8307
392 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8264
391 고온 플라즈마 관련 8020
390 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 7962
» 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7899
388 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7894
387 MFP에 대해서.. [1] 7608
386 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7564
385 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7519
384 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7266
383 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7123
382 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7001
381 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 6756
380 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6515
379 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6485

Boards


XE Login