Sheath PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문
2017.05.31 11:57
안녕하세요? 궁금한 사항이 있어 게시글을 남깁니다.
플라즈마를 통한 CCP etcher 의 경우 PE모드와 RIE모드가 있는것으로 알고 있습니다.
이 두경우는 상부전극에 RF를 걸어주느냐, 하부기판에 RF를 걸어주느냐에 따라 분류됨을 알고있습니다.
그런데 쉬스의 경우에는 RIE 모드에서만 기판 가까이 형성이 되고, PE 모드에서는 기판에 형성이 되지 않는다는
자료를 보아서, 궁금하여 질문을 드립니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76748 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92305 |
| 510 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9521 |
| 509 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9510 |
| 508 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
| 507 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9232 |
| 506 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9030 |
| 505 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8982 |
| 504 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8920 |
| 503 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8743 |
| 502 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8723 |
| 501 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8652 |
| 500 |
N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다.
[1]  | 8619 |
| 499 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8599 |
| 498 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8580 |
| 497 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8573 |
| 496 | 핵융합에 대하여 | 8564 |
| 495 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8162 |
| 494 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
| 493 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
| 492 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
| 491 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8035 |
오해가 있어 바로 잡습니다. CCP에서 상/하부 전극에는 모둔 쉬스가 형성되어 있는 obstructed discharge 구조를 갖게 합니다.
하지만 power 전극쪾에는 self-bias가 형성되어 (self bias 는 아래에도 언급한 바 있으니 게시물을 참고하세요) sheath energy가 크며,
반대 전극에는 에너지가 작은 sheath 가 형성되게 됩니다. 여기서 시편(wafer)를 놓은 두 경우가 만들어지는데, 이온 에너지가 큰 조건이 필요하면 당연히 power electrode 쪽에 시편을 놓고 처리하게 하고 (RIE 모드 운전), 낮은 에너지의 이온 조사가 필요한 경우라면 power electrode의 반대 전극에 시편을 놓고 운전 (PE 모드) 하여, 이름을 reactive ion etch mode (강한 이온을 쓴다) 와 plasma etch 모드 (약한 이온을 쓴다)라는 표현이 나온 것으로 예상됩니다. 따라서 플라즈마 전위는 같으나 전극 표면의 전위가 다름으로 쉬스 에너지 크기를 이용하는 것으로, RIE 혹은 PE 표현에서 현상의 이해에 혼선을 유발할 수 있음을 유면할 필요는 있습니다.