Remote Plasma remote plasma 데미지 질문 [DC glow discharge와 Breakdown]

2020.04.18 19:32

룰루랄라 조회 수:14948

안녕하세요 

 

반도체 공부하고 있는 학생입니다

 

반도체 관련 논문을 읽다 모르는 것이 있어 질문드립니다

remote plasma  경우 소스와 타겟 물질의 거리가 멀어 direct plasma 보다 플라즈마 데미지가 낮다고 하는데,

제가 알기로는 거리가 멀면 mean free path가 길어지고 플라즈마가 가속되어 에너지가 더 큰 것으로 알고 있습니다

그럼 충돌에너지가 커서 데미지가 더 커지는거 아닌가요..?

 

자세한 답변 부탁드립니다 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103361
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24718
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61540
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73523
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105956
554 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9858
553 대기압 플라즈마에 대해서 9807
552 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher] [1] 9800
551 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9660
550 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 9639
549 안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘] [1] 9568
548 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9484
547 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 9445
546 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9340
545 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 9205
544 수중 플라즈마에 대해 [수중 플라즈마의 화학 반응 현상] [1] 9156
543 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 9058
542 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8949
541 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8836
540 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8749
539 핵융합에 대하여 [상온 핵융합 관련 연구 동향] 8651
538 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 8418
537 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [DBD와 플라즈마 방전 메커니즘] [1] 8384
536 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8374
535 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [Bias power] [1] 8310
쓰기
태그

Boards

XE Login