번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77196
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20460
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57359
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68897
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92943
506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 3054
505 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 553
504 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1645
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 2025
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11655
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2400
500 공정플라즈마 [1] 1170
499 임피던스 매칭회로 [1] file 2845
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 555
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1723
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1551
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3479
494 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1179
493 질문있습니다. [1] 2593
492 chamber impedance [1] 2030
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3382
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2166
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5126
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 2151
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 755

Boards


XE Login