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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68931
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509 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3710
508 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1060
507 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1275
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502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 11715
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2416
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497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1739
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495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3506
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