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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
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glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1516 |
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plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 3420 |
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대학원 진학 질문 있습니다.
[2] | 1171 |
493 |
질문있습니다.
[1] | 2580 |
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chamber impedance
[1] | 2014 |
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PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 3329 |
490 |
플라즈마 관련 기초지식
[1] | 2149 |
489 |
매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~
[1] | 5087 |
488 |
[질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문
[2] | 1379 |
487 |
Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련
[1] | 745 |
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Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다.
[2] | 6285 |
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EEDF, IEDF, Cross section관련 질문
[1] | 1667 |
484 |
ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다.
[1] | 1186 |
483 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3204 |
482 |
HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
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교수님 질문이 있습니다.
[1] | 757 |
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wafer bias
[1] | 1136 |
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Group Delay 문의드립니다.
[1] | 1150 |
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Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문)
[1] | 516 |