번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77021
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20349
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57273
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68818
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92817
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2384
500 공정플라즈마 [1] 1165
499 임피던스 매칭회로 [1] file 2835
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 554
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1717
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1537
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3452
494 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1174
493 질문있습니다. [1] 2587
492 chamber impedance [1] 2022
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3359
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2152
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5115
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 2085
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 751
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6303
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1685
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1198
483 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3228
482 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2896

Boards


XE Login