Deposition 플라즈마 데미지에 관하여..
2012.09.24 18:00
안녕하십니까,
저는 한양대학교 신소재공학과에서 석박 생활을 하고 있는 학생입니다.
다름이 아니오라 제가 진행하고 있는 실험에 대하여 소자 특성저하에 여러가지 변수 중
플라즈마 데미지 라는 부분을 확인해 보기 위하여 검색을 하다가 플라즈마 응용연구실 Q&A 를 이용하게 되었습니다.
저는 TFT를 연구하고 있는데, 궁금한점이 있습니다.
Passivation- Free 상태의 TFT 즉 바텀 게이트를 이용하는 TFT의 채널층이 노출된 상태에서
PECVD 를이용하여 40W 100도 공정을 이용하여 약 1시간 정도SiNx 를 Deposition 할 경우
처음에 열려 있는 채널층에 플라즈마 데미지에 의하여 이온이 차지가 된다거나 기타 다른 차지들이 채널층에
데미지를 줄 수 있을까요../?
궁금한 마음이 급하여 두서없이 작성했습니다.
혹 실례가 되지 않는다면 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76855 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20262 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57193 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68747 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92610 |
| 497 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1452 |
| 496 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1456 |
| 495 | ICP lower power 와 RF bias [1] | 1458 |
| 494 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1460 |
| 493 | 알고싶습니다 [1] | 1463 |
| 492 | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1465 |
| 491 | PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] | 1465 |
| 490 | 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] | 1466 |
| 489 | rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] | 1466 |
| 488 | RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. | 1466 |
| 487 | charge effect에 대해 [2] | 1470 |
| 486 | 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] | 1507 |
| 485 | glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] | 1515 |
| 484 | PECVD 증착에서 etching 관계 [1] | 1516 |
| 483 | IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] | 1528 |
| 482 | 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] | 1535 |
| 481 | Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] | 1535 |
| 480 | plasma 형성 관계 [1] | 1539 |
| 479 | O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] | 1568 |
| 478 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1]  | 1605 |