Others 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다.

2017.01.04 11:49

최찬 조회 수:1967

안녕하세요 RGA에 관하여 궁금한 점이 있습니다.


지금 저희가 사용하는 RGA는 인피콘 Transpector MPH 이고 SUS진공챔버에 사용하고 있습니다.


RGA 운용은 -3~4Pa 이하대에서 진행하고 있고 SUS챔버 Baking 시 잔류가스분석에 사용하고 있습니다.


한번 사용 할 때마다 70시간 정도씩 외벽90도(내벽130도)로 사용하고 있는데 이온소스가 오염되는 현상이 일어나고 있습니다.


혹시 RGA 이온소스 오염 원인에 대해서 알 수 있을까요? 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76779
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20225
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57178
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68721
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92405
491 MFP에 대해서.. [1] 7826
490 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7704
489 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7655
488 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7623
487 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7237
486 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7093
485 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6653
484 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6606
483 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
482 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6540
481 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6494
480 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6478
479 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6466
478 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6439
477 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6420
476 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6418
475 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
474 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6367
473 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6276
472 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6259
쓰기
태그

Boards

XE Login