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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20230 |
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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491 |
rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 1463 |
490 |
RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
| 1463 |
489 |
Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1464 |
488 |
플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1465 |
487 |
charge effect에 대해
[2] | 1466 |
486 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1500 |
485 |
PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 1506 |
484 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1509 |
483 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1521 |
482 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1523 |
481 |
plasma 형성 관계
[1] | 1532 |
480 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1535 |
479 |
O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1565 |
478 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1604 |
477 |
ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
[1] | 1609 |
476 |
CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1615 |
475 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1624 |
474 |
EEDF, IEDF, Cross section관련 질문
[1] | 1654 |
473 |
Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 1664 |
472 |
Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
[1] | 1665 |
플라즈마는 이온화된 가스상태이다'라고 정의하는 분도 계십니다.