Collision Collisional mean free path 문의...
2018.05.31 17:13
안녕하십니까.
Collisional mean free path 에 대해 궁금한 게 있습니다.
공기중 산소분자가 8.4eV에서의 해리 충돌단면적이 1E-16 cm2라고 하면, n은 단위부피당 산소 분자의 개수를 대입하는 것인지, 질소+산소 포함한 개수를 대입하는 것인지요???
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] | 75021 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18862 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56341 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66848 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88322 |
| 419 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1]  | 961 |
| 418 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17466 |
| 417 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 419 |
| 416 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 742 |
| 415 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 661 |
| 414 | etching에 관한 질문입니다. [1] | 1860 |
| 413 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3374 |
| 412 | RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] | 5326 |
| 411 | DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] | 5143 |
| 410 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 434 |
| 409 | Si Wafer Broken [2] | 2122 |
| 408 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1240 |
| 407 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1140 |
| 406 | 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] | 880 |
| 405 | 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] | 1836 |
| 404 | OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] | 24463 |
| » | Collisional mean free path 문의... [1] | 701 |
| 402 | Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] | 2062 |
| 401 | 플라즈마 색 관찰 [1] | 3595 |
| 400 | 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] | 14063 |
너무 심각하게 생각하지 마시고, 평균값의 개념으로 접근해도 좋을 것 같습니다. 즉, 산소 분자의 밀도와 산소의 해리 충돌 단면적을 쓰면 산소의 MFP라 이해해도 좋을 것입니다. 공기의 해리 값으로 생각해 보려면 질소 분율에 대한 질소 MFP+산소 MPF (분율 값의 보정치)를 사용해도 좋을 것 입니다. 다만 CX 값은 최대 값을 의미하는 것이므로, MFP는 가장 충돌할 확률이 큰 값에 기반하였음을 상기하실 필요가 있겠고 이는 그 값의 전후에서 충돌이 일어날 확률은 다분히 존재하고 있음을 예상해야 한다는 말이 됩니다.