번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [99] 3639
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15320
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50573
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62985
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82037
368 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2094
367 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2113
366 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2250
365 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2253
364 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2256
363 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2263
362 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2294
361 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2324
360 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2336
359 Descum 관련 문의 사항. [1] 2359
358 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2365
357 PR wafer seasoning [1] 2376
356 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2421
355 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2423
354 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2478
353 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2511
352 RPSC 관련 질문입니다. [2] 2567
351 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2580
350 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 2603
349 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2609

Boards


XE Login