번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5829
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17286
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53122
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64501
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85114
398 Si Wafer Broken [2] 1969
397 플라즈마볼 제작시 [1] file 1975
396 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1981
395 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 2000
394 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2003
393 Wafer particle 성분 분석 [1] 2023
392 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2024
391 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2044
390 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2076
389 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2080
388 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2113
387 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2124
386 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2158
385 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2160
384 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2178
383 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2193
382 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2213
381 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2230
380 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2234
379 Plasma etcher particle 원인 [1] 2242

Boards


XE Login