번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5808
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17215
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53072
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64487
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85101
398 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 1965
397 Si Wafer Broken [2] 1966
396 플라즈마볼 제작시 [1] file 1975
395 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 1990
394 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2003
393 Wafer particle 성분 분석 [1] 2015
392 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2023
391 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2042
390 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2076
389 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2077
388 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2105
387 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2108
386 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2155
385 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2158
384 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2168
383 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2178
382 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2185
381 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2205
380 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 2224
379 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2228

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