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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68674
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475 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1604
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472 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1660
471 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1666
470 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1670
469 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1682
468 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1686

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