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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59717
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323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 6912
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 928
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1113
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 3252
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 4244
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 5020
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 5444
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1717
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 2332
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313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 2238
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 8580
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1167
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5162
309 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1406
308 N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] 8337
307 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 2467
306 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 646
305 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1476
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