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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64501
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376 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 583
375 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 848
374 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 415
373 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 608
372 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 4257
371 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2540
370 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2796
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368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1235
367 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1717
366 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1461
365 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2003
364 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1464
363 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1627
362 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 665
361 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1020
360 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1018
359 DC bias (Self bias) [3] 10356

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