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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65737
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86107
387 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1360
386 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2476
385 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 860
384 ICP 후 변색 질문 624
383 Plasma etcher particle 원인 [1] 2330
382 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1853
381 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 311
380 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3960
379 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 900
378 고진공 만드는방법. [1] 852
377 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 375
376 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 601
375 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1005
374 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 420
373 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 626
372 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 4482
371 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2579
370 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2897
369 활성이온 측정 방법 [1] 485
368 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1277
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