번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65724
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86100
387 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2209
386 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2212
385 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2253
384 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2271
383 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2274
382 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2285
381 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2289
380 Plasma etcher particle 원인 [1] 2322
379 임피던스 매칭회로 [1] file 2327
378 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2349
377 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2355
376 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 2458
375 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2475
374 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2478
373 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2480
372 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2486
371 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2505
370 PR wafer seasoning [1] 2517
369 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2538
368 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2579
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