Etch 터보펌프 에러관련

2019.03.18 20:52

베컴 조회 수:1767

안녕하십니까?

진공관련 터보펌브 관련 질문을 드리려 합니다.

고진공 펌프인 터보펌프에 대기압 상태의 가스입자 즉 아보가드로 넘버 숫자의 입자가 주입이 될 경우

터보펌프에 어떤 무리가 오게 되는지 궁금합니다.

제가 예상하건데...터보펌프 블레이드가 녹아버리거나, 추즉합니다.


터보펌프에 에러가 발생을 해서요...따로 인터락은 작동하지 않은것으로 파악됩니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76813
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20241
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57186
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68736
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92571
477 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1611
476 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1615
475 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1632
474 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1657
473 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1666
472 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1668
471 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1673
470 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1683
469 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1691
468 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1695
467 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1704
466 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1740
465 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1747
464 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1763
» 터보펌프 에러관련 [1] 1767
462 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1804
461 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1814
460 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1821
459 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1850
458 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1859
쓰기
태그

Boards

XE Login