Deposition PEALD관련 질문

2019.06.21 13:12

베컴 조회 수:32617

안녕하십니까?


현재 에쳐장비 현업에 종사하고 있는데...

PEALD관련논문을 서치중에 있습니다.

PEALD관련 혹시 추천해주실 논문이나 자료가 있다면, 부탁드리겠습니다.

감사합니다.

수고하십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76750
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20217
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57170
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68707
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92308
470 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1679
469 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1686
468 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1690
467 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1703
466 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1733
465 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1742
464 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1752
463 터보펌프 에러관련 [1] 1762
462 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1796
461 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1804
460 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1812
459 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1844
458 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1850
457 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1852
456 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1861
455 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1862
454 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1867
453 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1872
452 가입인사드립니다. [1] 1880
451 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1896
쓰기
태그

Boards

XE Login