번호 제목 조회 수
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 48660
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 50558
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 56135
249 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 1981
248 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 1944
247 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 1934
246 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 1913
245 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 1897
244 RPSC 관련 질문입니다. [2] 1803
243 플라즈마 색 관찰 [1] 1773
242 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 1753
241 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 1730
240 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 1726
239 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 1713
238 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 1708
237 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 1667
236 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 1656
235 ESC Cooling gas 관련 [1] 1614
234 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1523
233 PEALD관련 질문 [1] 1516
232 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1481
231 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 1447
230 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1426

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