번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] 2921
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 14125
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50055
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62367
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 80739
339 DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] 4742
338 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 4681
337 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 4523
336 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4301
335 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 4091
334 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3938
333 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 3778
332 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 3763
331 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3691
330 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 3675
329 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 3598
328 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 3516
327 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3353
326 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3306
325 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 3255
324 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 2950
323 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2904
322 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 2892
321 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2759

Boards


XE Login