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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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249 |
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성
[1] | 1981 |
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248 |
아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
| 1944 |
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247 |
플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.
[1] | 1934 |
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246 |
HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의
[1] | 1913 |
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245 |
M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다.
[1] | 1897 |
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244 |
RPSC 관련 질문입니다.
[2] | 1803 |
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243 |
플라즈마 색 관찰
[1] | 1773 |
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242 |
플라즈마에 관해 질문 있습니다!!
| 1753 |
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241 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1730 |
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240 |
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1] | 1726 |
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239 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 1713 |
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238 |
HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다.
[1] | 1708 |
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237 |
CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활
[1] | 1667 |
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236 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 1656 |
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235 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 1614 |
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234 |
13.56MHz resonator 해석 관련 문의
[1] | 1523 |
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233 |
PEALD관련 질문
[1] | 1516 |
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232 |
plasma etching을 관련 문의드립니다.
[1] | 1481 |
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231 |
RIE에 관한 질문이 있습니다.
[1] | 1447 |
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230 |
플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다.
[2] | 1426 |
