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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 색 관찰
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357 |
RPSC 관련 질문입니다.
[2] | 3188 |
356 |
DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문
[2] | 3184 |
355 |
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성
[1] | 3130 |
354 |
아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
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353 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3059 |
352 |
ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다
[2] | 3056 |
351 |
HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다.
[1] | 3046 |
350 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3045 |
349 |
Plasma Etch시 Wafer Edge 영향
[1] | 2975 |
348 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 2911 |
347 |
ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
[2] | 2852 |
346 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 2825 |
345 |
코로나 방전의 속도에 관하여...
[1] | 2821 |
344 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 2805 |
343 |
Bias 관련 질문 드립니다.
[1] | 2797 |
342 |
Descum 관련 문의 사항.
[1] | 2781 |
341 |
Plasma 에칭 후 정전기 처리
[3] | 2774 |
340 |
M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다.
[1] | 2752 |
339 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 2684 |