아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지던데

혹시 물이 분해되면서 나온 산소나 OH-때문에 온도가 떨어질수있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76732
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20204
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
449 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4180
448 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4149
447 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4011
446 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3977
445 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3964
444 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3955
443 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3926
442 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3910
441 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3807
440 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3774
439 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3752
438 Descum 관련 문의 사항. [1] 3721
437 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3708
436 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3690
435 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3646
434 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3618
433 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3557
432 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3536
431 ESC Cooling gas 관련 [1] 3533
430 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3530

Boards


XE Login