Remote Plasma surface wave plasma 에 대해서

2010.04.10 19:26

이태효 조회 수:18545 추천:127

안녕하세요.. 저는 이태효라고 합니다.

플라즈마에 대해서 이것저것 공부하던 중에 high density plasma 방법중에 마이크로 웨이브를 이용한 방법이 있는 것을 보았습니다.

보통 CCP나 ICP 또는 Helicon plasma 그리고 ECR에 대해서는 어느정도 방법이 나와있지만 마이크로파를 이용한 surface wave plasma에 대해서는 자료가 거의 없더군요....

해서 게시판에 매번 눈팅만 하다가 질문을 올리게 됐습니다.

1. 첫째로 마이크로파를 이용한 플라즈마 방식이 있는데 이것에 대한 플라즈마를 발생시키는 원리에 대해서 알고 싶습니다.
- 플라즈마 일렉트로닉스란 책도 참고로 보았지만 잘 이해가 안가네요...;;;;

2. 두번째로 마이크로파를 이용한 플라즈마 방식은 전자온도가 낮다고 들었는데요... 이유가 어떤건지도 궁금합니다.
- ECR 도 마이크로 웨이브를 이용하는데 이건 일반적인 ICP보다 전자온도가 높은것으로 알고 있는데요.. SWP에 대한 원리를 몰라서 그런지 왜 전자온도가 낮은지 아무리 생각해도 잘 모르겠네요.

매번 게시판을 잘 이용하고 있고 많은 도움을 받고 있습니다.
그럼 하시는 연구 잘되기를 바라구요... 답변 부탁드립니다. 감사합니다.

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76731
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20201
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68701
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 501
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1295
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 757
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 805
445 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 854
444 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 968
443 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 558
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1661
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 390
440 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 472
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2327
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1661
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1324
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2317
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3445
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 666
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1192
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2127
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 487
430 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
쓰기
태그

Boards

XE Login