Deposition 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다.
2013.07.18 16:47
지금 모기업에서 인턴을 하면서 CVD파트에 대해서 공부를 하고있습니다.
PECVD를 과정에서 플라즈마의 균일도가 중요 하다고 합니다.
이때 어떠한 변수들이 플라즈마의 균일도에 영향을 주는지 궁급합니다.
이와더불어 N2플라즈마와 수소플라즈마의 차이점에 대해서 알고 싶습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
449 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 501 |
448 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1295 |
447 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 757 |
446 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 805 |
445 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 854 |
444 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 968 |
443 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 558 |
442 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 1661 |
441 | 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] | 390 |
440 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
439 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2327 |
438 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1661 |
437 | CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] | 1324 |
436 | DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] | 2319 |
435 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3445 |
434 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 666 |
433 | RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] | 1192 |
432 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2128 |
431 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 487 |
430 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 589 |
아울러 N2 플라즈마와 H2 플라즈마의 일반적인 차이는 이온화, 해리 이온화률의 경로 차이가 큽니다. 이를 참고하여 N2 플라즈마 자체를 연구한 논문 (질화 및 이온주입 분야 논문)과 H2 플라즈마 생성 논문 주로 핵융합 이온원 소스 개발 등에서 참고하여 논문 찾기를 해 보시면 좋을 것입니다.