안녕하세요 반도체 장비회사에서 인턴으로 일하고있습니다.


pecvd장비를 이용해 ACL(amorphous carbon layer)을 올리는데 박막 stress를 줄여보고자 analog tuner를 chamber side bottom에 달았습니다.


여기서 궁금한 것은 analog tuner가 어떤 원리로 쓰여지는건지 궁금합니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5614
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16912
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51351
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64223
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84301
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1216
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 490
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2125
349 RF frequency와 RF power 구분 36440
348 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2152
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2186
346 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 566
345 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2906
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 5852
343 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8042
342 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1626
341 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 346
340 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 758
339 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 4388
338 가입인사드립니다. [1] 1805
337 문의 드립니다. [1] 713
» analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 456
335 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1216
334 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1193
333 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 836

Boards


XE Login