DC glow discharge 플라즈마 압력에 대하여
2017.11.10 11:27
안녕하세요 현재 2차원물질 공정을 연구하는 석사과정 대학원생입니다.
이 공정중에는 플라즈마 처리가 있는데요
power가 커짐에 따라 챔버내부의 빛도 밝아지는 것을 볼수 있는 반면에
압력을 30에서 120mTorr으로 증가시켰을때는 어두워지는 것을 관찰하였습니다.
power와 마찬가지로 압력도 밝기에 비례할것이라고 예상하였는데 어떤 이유가 있는지 궁금합니다.
감사합니다.
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Glow discharge를 공부하면 쉽게 이해가 됩니다 (본 게시판에서 수차례 설명을 했습니다. 참고하시기 바랍니다). 즉, 플라즈마 내에서 전자가 에너지를 효과적으로 받고 얻은 에너지를 원자/분자에 효과적으로 전달함으로써 빛이 밝아지겠고, 그렇지 못하면 빛의 세기가 줄어들 것입니다. 즉, 전자의 에너지 획득의 과정으로 해석을 해 보기 바랍니다.