Diamond tip으로 insulator, semiconductor, conductor를 긁어서 깨뜨리는 경우, 3 경우 모두 플라즈마가 생기고 이 때 insulator>semiconductor>conductor 순으로 electron 의 에너지가 높은 것으로 알려져있습니다.

( insulator : several hundred to keV,  semiconductor : 0~100 eV,  conductor : negligible )

저는 Ceramic Powder (Y2O3 ~900nm) 를 아음속으로 기판에 분사시켜서 증착하는 Aerosol Deposition 중에도 플라즈마가 생기는 것을 PMT 센서로 계측하고, 이를 증착에 미치는 영향과 연관시키려고 합니다.


질문 사항은 다음과 같습니다.

1. 일반적으로, E-field를 가해서 플라즈마를 생성할 때, electron energy 가 어느 정도 쯤 되나요?

Tribo-Plasma 가 발생하면서 생겼다고 주장하는 keV의 높은 에너지의 전자도 Tribo-Plasma에 의한 것으로 생각할 수 있을까요? 아니라면 다른 어떤 요인이 있을까요?


2. 상온 대기압 하에서 수 keV의 전자가 방출된다면 이 전자는 몇 m 의 거리를 움직일 수 있을까요? 그것을 대략적으로 계산할 수 있는 식은 어떤 것이 있을까요?


3. 플라즈마가 생겼다면, light emission 을 동반할 것이기 때문에, 200~780 nm 의 광을 측정할 수 있는 PMT 센서로 계측 중입니다. PMT Sensor가 기판으로부터 약 3~4cm 정도 떨어져있는데, 특정 조건(증착 조건 : 분말이 깨지는 조건)에서 오작동을 합니다. 수 keV의 전자가 방출되었을 때 계측기에 영향을 미칠 수 있을까요? 


4. 수 um 영역에서 플라즈마가 생겼을 경우 이 때 생성되는 열에너지가 어느 정도가 될까요? 온도가 어느 정도로 증가할까요?

Ceramic 이 깨질 때 형성되는 E-field 는 약 4.4*10^5 V/cm 라고 합니다. 주변 분위기는 Air 로 유지되고 있습니다.


감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] 76839
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20251
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68743
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92582
456 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 597
455 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1401
454 플라즈마 충격파 질문 [1] 803
453 ESC Cooling gas 관련 [1] 3549
452 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 965
451 플라즈마 코팅 [1] 1038
450 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2591
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 510
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1303
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 761
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 818
445 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 855
444 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 974
443 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 561
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1668
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 390
440 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 472
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2333
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1669
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1330

Boards


XE Login