Plasma in general 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas
2019.01.09 15:32
플라즈마용사코팅에서 carrier gas 종류에 따른 차이점이 무엇일까요?
carrier gas로 Ar/He/H2/N2 사용 시 각 gas에 따른 차이점이 무엇인지 왜 그런 차이가 나는지에 대해 궁금합니다.
플라즈마 발생 기체로 사용시에는 이온화 에너지 차이에 따른 변화가 있을 것으로 예상 되지만
carrier gas 종류에 따른 차이도 있을까요?
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76752 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20217 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57170 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68707 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92318 |
450 | 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] | 2582 |
449 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 501 |
448 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1297 |
447 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 757 |
» | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 808 |
445 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 854 |
444 | RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] | 968 |
443 | Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] | 558 |
442 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 1661 |
441 | 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] | 390 |
440 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 472 |
439 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2327 |
438 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1661 |
437 | CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] | 1325 |
436 | DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] | 2324 |
435 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3450 |
434 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 668 |
433 | RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] | 1193 |
432 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2130 |
431 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 489 |