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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68811
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461 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1864
460 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1865
459 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1871
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457 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1882
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452 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1922
451 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1923
450 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1940
449 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1946
448 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1959
447 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1965
446 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1966
445 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1977
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