Chamber Impedance chamber impedance

2019.09.24 15:45

nok73 조회 수:2016

안녕하십니까? 교수님, 


ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [277] 76879
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20274
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92706
457 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1876
456 가입인사드립니다. [1] 1880
455 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1883
454 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1883
453 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1903
452 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1906
451 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1910
450 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1921
449 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1929
448 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1930
447 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1950
446 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1958
445 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1961
444 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1965
443 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1974
442 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1974
441 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1984
440 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1988
439 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 2014
» chamber impedance [1] 2016
쓰기
태그

Boards

XE Login