DC glow discharge 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!?

2016.06.02 13:58

민윤기 조회 수:1959

플라즈마 띄울때


산소 소모량이 40 l/min이라고 합니다.


(공기평균 분자량은 29 g/mol)이라고 괄호가 쳐있구요


만약 Ar일때는 분당 몇 l가 소모될까요???


자세한 답변 부탁드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76861
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20264
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57197
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68750
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92650
457 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1874
456 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1875
455 가입인사드립니다. [1] 1880
454 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1882
453 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1895
452 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1902
451 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1904
450 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1920
449 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1925
448 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1927
447 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1937
446 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1956
» 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1959
444 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1960
443 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1972
442 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1973
441 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1979
440 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1985
439 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 2010
438 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 2011
쓰기
태그

Boards

XE Login