안녕하세요. 카이스트에서 석사 1년차로 있는 대학원생입니다.

 

Single probe로 electron energy probability distribution을 구할 때, low energy electron은 bulk plasma에서 평형 상태에 도달한 전자들을 지칭하고 high energy electron은 cathode에서 방출되고 probe sheath를 통해 bulk plasma로 가속되는 전자들을 지칭하는 것으로 알고 있습니다.

 

이 두 그룹의 전자들을 구분할 수 있는 식이 따로 있는지 궁금합니다. 실험을 통해 얻은 EEPF에서 몇 eV부터 몇 eV까지는 low energy electrons이고 몇 eV부터 몇 eV까지는 high electrons이다 라는 형태의 답을 얻고 싶습니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102860
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24688
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61415
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73479
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105832
493 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1935
492 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항] [2] 1952
491 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [ESC와 Chamber impedance] [1] 1956
490 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma] [1] 1960
489 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance] [1] 1974
488 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield] [1] 1984
487 N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 2024
486 ICP lower power 와 RF bias [Self bias, Floating sheath] [1] 2030
485 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [표면 화학 반응] [1] 2032
484 가입인사드립니다. [1] 2054
483 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [플라즈마 임피던스, 운전압력조절 방전 조건] [1] 2056
482 ICP reflecot power [Insulator와 rf leak] [1] 2059
481 터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력] [1] 2066
480 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 2066
479 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [DC bias 형성 판단] [1] 2069
478 plasma 형성 관계 [Paschen's law, 플라즈마 주파수] [1] 2069
477 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [고전압 방전 및 DBD] [2] 2070
476 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 2071
475 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence] [1] 2082
474 Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어] [1] 2087

Boards


XE Login