번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4914
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16259
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63760
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83574
339 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 2970
338 플라즈마 색 관찰 [1] 2866
337 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 2862
336 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2848
335 ESC Cooling gas 관련 [1] 2822
334 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2805
333 RPSC 관련 질문입니다. [2] 2777
332 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 2772
331 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 2748
330 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 2709
329 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2663
328 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2642
327 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2599
326 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2560
325 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2464
324 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2461
323 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2453
322 Descum 관련 문의 사항. [1] 2423
321 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2421
320 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2415

Boards


XE Login