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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65737
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367 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3455
366 플라즈마 색 관찰 [1] 3392
365 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3289
364 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 3262
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357 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3093
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351 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2897
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349 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2815
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