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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[271]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20217 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57169 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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450 |
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성
[1] | 4183 |
449 |
SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문
[1] | 4150 |
448 |
RPSC 관련 질문입니다.
[2] | 4013 |
447 |
the lines of magnetic induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문
[1] | 3977 |
446 |
Plasma 식각 test 관련 문의
[1] | 3965 |
445 |
ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다
[2] | 3960 |
444 |
Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문
[3] | 3927 |
443 |
HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다.
[1] | 3910 |
442 |
DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문
[2] | 3809 |
441 |
RIE에서 O2역할이 궁금합니다
[4] | 3780 |
440 |
진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해
[1] | 3757 |
439 |
Descum 관련 문의 사항.
[1] | 3723 |
438 |
CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
[3] | 3710 |
437 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3692 |
436 |
ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다.
[2] | 3647 |
435 |
플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 3623 |
434 |
방전에서의 재질 질문입니다.
[1] | 3557 |
433 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3538 |
432 |
ESC Cooling gas 관련
[1] | 3533 |
431 |
Plasma Etch시 Wafer Edge 영향
[1] | 3533 |