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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61622
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300 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1377
299 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 2881
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2400
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9405
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 6777
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1120
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1350
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2009
292 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1256
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2206
290 수중 방전 관련 질문입니다. [1] 9153
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 1906
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1669
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