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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20213 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 2130 |
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양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1] | 2173 |
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Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1] | 2231 |
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N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 2232 |
425 |
ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 2234 |
424 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 2238 |
423 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2239 |
422 |
etching에 관한 질문입니다.
[1] | 2261 |
421 |
Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1] | 2264 |
420 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 2270 |
419 |
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
| 2281 |
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플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 2306 |
417 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 2314 |
416 |
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1] | 2314 |
415 |
RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계
[1] | 2315 |
414 |
Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다.
[1] | 2316 |
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교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 2316 |
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DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다.
[1] | 2319 |
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안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다.
[1] | 2320 |
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Wafer particle 성분 분석
[1] | 2321 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.