이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.

산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요

실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요

산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나

거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..

이유가 무엇일까요..?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76884
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20279
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57200
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68755
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92712
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2336
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1674
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1339
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2354
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3491
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 688
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1207
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2144
» 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 491
430 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 593
429 자기 거울에 관하여 1146
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 827
427 Descum 관련 문의 사항. [1] 3746
426 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 645
425 Plasma Generator 관련해서요. [1] 913
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1459
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 449
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5936
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1193
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 518

Boards


XE Login