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383 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2587
382 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 2603
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379 Plasma etcher particle 원인 [1] 2641
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375 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2699
374 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2746
373 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2781
372 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 2809
371 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2828
370 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2921
369 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2930
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